Mit unserem Nano-CT-System bieten die höchstmögliche Auflösung im Bereich der konventionellen Computertomographie und ermöglichen eine Detailerkennbarkeit von bis zu etwa 500 Nanometern. Um diese extrem feinen Auflösungen zu erzielen, werden spezielle Röntgenquellen mit besonders kleinen Brennflecken sowie hochauflösende Detektoren eingesetzt, die in der Lage sind, selbst kleinste Strukturen sichtbar zu machen. Aufgrund der hohen geometrischen Vergrößerung, die für diese Präzision erforderlich ist, sind die untersuchbaren Objekte jedoch auf wenige Millimeter begrenzt. Trotz dieser Einschränkung eröffnen Nano-CT-Systeme völlig neue Möglichkeiten für die Analyse und Fehlererkennung in hochpräzisen Anwendungen, beispielsweise in der Mikroelektronik oder der Materialforschung.
Mit ihrer hohen Leistung von 320 W und dem wassergekühlten Target ermöglicht die 225kV-Röntgenröhre schnelle CT-Scans in weniger als einer Minute. Im 2D-Betrieb erreicht der Direktstrahler eine räumliche Auflösung von 4 μm. Die Möglichkeit, innerhalb einer Prüfsequenz zwischen dem Mikrofokus-Direktstrahler und der Nanofokus-Transmissionsröhre zu wechseln, erweitert den Anwendungsbereich erheblich.
