Das Feldemittergerät Sigma 360VP mit GEMINI®-Elektronenoptik ermöglicht die hochauflösende Darstellung der Oberflächen von Festkörpern mit außergewöhnlicher Schärfentiefe. Durch die innovative Technologie, wird durch Feldemission ein Elektronenstrahl erzeugt, der die Probe im Hochvakuum präzise abtastet. Vergleichend zu herkömmlichen Rasterelektronenmikroskopen mit Wolframkathode ermöglicht dies eine höhere Elektronendichte und präzisere Fokussierung des Strahls. Diese Technologie ermöglicht Auflösungen im einstelligen nm-Bereich.
Die entstehenden Wechselwirkungsprodukte beim Auftreffen des Elektronenstrahls auf die Probenoberfläche werden erfasst und liefern wertvolle Bildinformationen über die Oberflächenbeschaffenheit. Mit Sekundär- und Rückstreuelektronen-Kontrast können verschiedene Darstellungsformen gewählt werden, was detaillierte Bewertungen von Bruchflächen und Topographien ermöglicht.
Um qualitativ hochwertige Bilder im Sigma 360VP zu erzeugen, muss die Probe nicht zwingend leitfähig sein. Dies wird durch die Möglichkeit der Handhabung im variablen Druckbereich unterstützt, wodurch eine Bedampfung mit Gold- oder Graphitschichten entfällt.
Anwendungsmöglichkeiten des Sigma 360VP:
- Schadensanalysen von Materialien und gefertigten Bauteilen
- Prüfen von medizinischen Geräten
- Charakterisierung von elektronischen und Halbleitergeräten in der Prozesssteuerung und -diagnose
- Hochaufgelöstes Imaging und Analysen neuer Nanomaterialien
- Analysen von Beschichtungen und Dünnfilmen
- Imaging, Analyse und Differenzierung von Polymermaterialien
- Durchführen von Batterieforschung, um Alterungseffekte und Qualitätsverbesserungen nachzuvollziehen
- SmartPI vollautomatische Partikel Analyse nach ISO 16232 und VDA 19 Teil 1 und 2 für technische Sauberkeit
Detektoren des Sigma 360VP:
- Inlense-SE-Detektor: Durch die Wechselwirkung des Elektronenstrahls mit der Probe werden Sekundärelektronen freigesetzt, die ein Topographiekontrast erzeugen. Diese Bilddarstellung eignet sich hervorragend zur Dokumentation und Bewertung von Oberflächenstrukturen wie Bruchflächen und Korrosionsangriffen.
Im Vergleich zu herkömmlichen Rasterelektronenmikroskopen ist der Kammerdetektor für Sekundärelektronen im Strahlengang verbaut. Folglich führt eine bessere Signalausbeute zu höher aufgelösten Bildern.
- VPSE-Detektor: Der SE-Detektor für den veränderbaren Druck liefert hochauflösende Bilder selbst im Niedervakuumbereich bei der Untersuchung von nichtleitenden Proben.
- AsB-Detektor: Hier wird das bildgebende Signal durch abgebremste und abgelenkte Primärelektronen erzeugt. Die Energie der Rückstreuelektronen hängt von der Dichte des Probenmaterials ab, was die Darstellung von Verunreinigungen, Schichtsystemen oder Einschlüsse ermöglicht.
- EDX-Detektor: Bei der Wechselwirkung des Elektronenstrahls mit dem Probenmaterial entsteht charakteristische Röntgenstrahlung, die eine qualitative und semiquantitative Bestimmung der chemischen Zusammensetzung erlaubt. Neben Punkt- und integralen Analysen können auch Linescans und Mappings in Falschfarbendarstellung realisiert werden, um Unterschiede in der Zusammensetzung anschaulich darzustellen.
